일본이 주장하는 반도체 제조장치 부문은 한국·대만·중국보다 우위

일본이 주장하는 반도체 제조장치 부문은 한국·대만·중국보다 우위

■ 반도체 제조장치
미 수탁제조사업자 글로벌 파운드리즈의 반도체 공장에는 일본이 제조한 장비도 다수 가동되고 있다고 주장한다.
강점은 각 공정이 반복적으로 이루어지기 때문에 인접 공정간의 상호 의존성이 높고 각 공정용 장치의 탑 메이커끼리 연계가 이루어지기 쉽다고 한다.

■ 전·후공정으로 저변이 넓은 일본
세계의 반도체 제조장치 업계는, 지금도 미·일·유럽의 기업이 중심이며, 한국·대만·중국세의 대두가 뚜렷한 디바이스 업계와 다르다. 제조장치는 전공정과 후공정으로 나뉘며 시장경쟁도 양상이 다르다.

전공정은 많은 공정의 장치에서 높은 점유율을 가진 미국 어플라이드머티리얼즈(AMAT)와 도쿄일렉트론(TEL)의 2강과 개별 공정에 강한 기업군으로 시장을 형성하고 있다. 후자는 미국 램리서치(LAM식각), 미국 KLA텐콜(검사), SCREEN홀딩스(세척), 알박(성막), KOKUSAI ELECTRIC(옛 히타치국제전기에서 분리 확산), 닛신전기(이온주입), 네덜란드 ASML(노광) 등이 해당된다.

후공정은 개개의 공정으로 구분되어 있으며 디스코(절단·삭감·연마), 어드밴테스트(시험)이 있고,
매출 규모는 1조엔을 넘는 AMAT, TEL, ASML, LAM이 있고, 그 아래에 벽이 있어 5000억엔 이하에 각 공정에 특화된 일본 기업이 몰려 합종연횡을 하고 있지만, 후공정은 거대 기업이 없다.

■ 공정간의 연계가 강점
일본 기업이 경쟁력을 유지하고 있는 이유는 특히 전공정에서는 각 공정이 반복되어 이루어지기 때문에 인접 공정간의 상호 의존성이 높고, 각 공정용 장치의 톱 메이커끼리 제휴가 이루어지기 쉬운 것을 들 수 있다. 그것이 에코시스템 형성으로 이어진다. 일본 기업이 강점을 발휘하기 쉬운 영역인 것이다.

TEL의 토키이시 테츠오 전 회장은, 「넘버원의 회사끼리의 제휴, 개발하는 기술 중에는 많은 장치에서 사용할 수 있는 공통기술이나 요소기술이 있다」라고 미디어상에서 발언한 바 있다.

일본의 제조장치와 재료 업계 단체인 SEMI재팬의 하마시마 마사히코 대표는 공급망이 강상의 부품이나 서브시스템(더 작은시스템) 공급업체로 이어지고 있어 여기서도 일본 기업은 큰 점유율을 보이고 있다고 밝혔다. 구체적으로는 높은 점유율을 가진 드라이 진공펌프(진공을 만드는 장치), 호리바제작소가 다루는 매스플로컨트롤러(가스의 유량 제어기기), CKD의 밸브 등이 있다고 한다.

■ 한·중 우위성
오랜 세월에 걸쳐 전 세계에 구축해 온 보수·점검 서비스 체제도 중요한 역할을 하고 있다. 또한 제조장치에 중요한 물성, 화학반응, 메카트로닉스 등 기술요소는 한국·대만·중국 기업보다 미·일이 여전히 우위이며 장치의 부품도 선진국으로부터의 조달이 많다. 일본은 전자뿐만 아니라 기계, 광학, 화학, 재료 등 폭넓은 분야에서 능력있는 인재를 보유하고 있으며, 미국과 유럽도 기초과학에 인재가 두텁게 포진해 있다. 이것이 장치산업의 강점이 되고 있다.

배선공정이 많은 로직 반도체에서는 공정을 공통화하는 플랫폼화가 진행되어 최근에는 대만 TSMC가 주도하는 로드맵 상에서 개발이 진행되고 있다. 전공정 안에서 특수한 존재는 장치의 크기와 가격, 요소기술도 다른 노광기로 이곳은 ASML이 군림하고 있다.

후공정은 공정의 반복은 1회 정도이며 절단, 테스트, 조립으로 나뉘어져 각 공정 모두 플랫폼화되지 않고 틈새시장에서 높은 점유율을 보이고 있는 일본 메이커가 강하다. 앞서 기술한 디스코나 어드밴테스트 외에 도쿄정밀(절단), 시바우라 메카트로닉스(실장), TOWA(봉지), 이노텍(시험).그 외로는 다이후크(반송), 일본전자(마스크 그리기), 브이테크놀로지(검사 등) 등이 있다고 한다.